TEM試料作製装置群

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー
型式 TEM sample preparation facilities
用途

切断、機械研磨、イオン研磨、化学機械研磨(CMP)、FIB加工、ピックアップ、樹脂包埋、染色処理、クライオミクロトーム等。貼り合わせ断面試料、ダメージレスくさび型試料、低温低加速イオン研磨試料、生体材料試料、高分子材料試料、FIB+ピックアップ試料など、各種材料や目的に応じた試料作製。

仕様(特徴・詳細)

切断、機械研磨、イオン研磨、化学機械研磨(CMP)、FIB加工、ピックアップ、樹脂包埋、染色処理、クライオミクロトーム等。貼り合わせ断面試料、ダメージレスくさび型試料、低温低加速イオン研磨試料、生体材料試料、高分子材料試料、FIB+ピックアップ試料など、各種材料や目的に応じた試料作製。

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問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2139
E-mail:acnp@nims.go.jp

備考

微細構造解析プラットフォーム

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