FIB加工装置(JEM-9320FIB, JEM-9310FIB1, JEM-9310FIB2, JIB-4000)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー 日本電子(株)
型式 JEM-9320FIB, JEM-9310FIB1, JEM-9310FIB2, JIB-4000
用途

FIBによるナノ加工

仕様(特徴・詳細)

JEM-9320FIB Gaイオンエネルギー:5~30 kV、最大電流30nA、分解能6nm

JEM-9310FIB1 Gaイオンエネルギー:5~30 kV、最大電流10nA、分解能8nm、バルクステージ装備

JEM-9310FIB2 Gaイオンエネルギー:5~30 kV、最大電流10nA、分解能8nm

JIB-4000 Gaイオンエネルギー : 1~30 kV、最大電流60nA、分解能5nm

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2139
E-mail:acnp@nims.go.jp

備考

微細構造解析プラットフォーム

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