室温プローバーシステム

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー ベクターセミコン、アジレント・テクノロジー
型式 MX-200/B、B1500A
用途

I-V/C-V特性評価

仕様(特徴・詳細)

プローブ: 同軸プローブ
マニピュレータ: 4基
I-V測定端子: 4ユニット
C-V測定端子: 1ユニット
試料サイズ: 最大φ4インチ
その他: 試料ステージ電圧印加可、除振台/シールドボックス装備

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

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検索キーワード プローバー 同軸プローブ I-V特性 C-V特性