触針式表面段差計

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー KLA Tencor
型式 Alpha Step IQ
用途

接触式段差測定

仕様(特徴・詳細)

分解能 1.19pm (±10umレンジ)/23.8pm (400umレンジ)

走査距離 10mm

膜厚測定範囲 最大400um

測定再現性 0.8nm以下 (1σ)

試料サイズ 最大φ6インチ

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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