イオンスパッタ

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー 日立ハイテク
型式 E-1045
用途

SEM、FIB-SEMの前処理

仕様(特徴・詳細)

成膜材料: プラチナ/カーボン
プラチナ成膜方式: ダイオード放電マグネトロン型
カーボン成膜方式: 直接通電加熱蒸着
成膜時間設定: 300秒以下
試料サイズ: 最大φ60mm

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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