3次元測定レーザー顕微鏡

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー オリンパス
型式 LEXT OLS4000
用途

非接触3次元形状観察・計測

仕様(特徴・詳細)

光源 405nm半導体レーザー

分解能 XY:0.12um/Z:0.01um

繰り返し性 XY:3σ=0.02um,/Z:1σ=0.012um(対物レンズ100倍時)

観察モード レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察

試料サイズ 100mm角以下

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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