原子間力顕微鏡

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー SIIナノテクノロジー
型式 L-trace
用途

ナノ加工・構造・材料の観察・計測

仕様(特徴・詳細)

測定モード AFM,DFM,FFM,PM,SIS

走査範囲 90um

ステージ移動範囲 X:±75mm/Y:+105mm

分解能 垂直:0.01nm

試料サイズ 最大φ6インチ

その他 カンチレバー自動交換機能,レシピ登録自動測定機能

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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