走査電子顕微鏡

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー 日立ハイテク
型式 S-4800
用途

ナノ加工・構造・材料の観察・計測

仕様(特徴・詳細)

電子銃 ZrO/W 電界放射型
加速電圧 0.1-30kV
2次電子像分解能 1.0nm (ノーマル:15kV),1.4nm (リターディング:1.0kV)
試料ステージ 5軸モーター駆動
試料サイズ 最大φ6インチ
その他 各種試料ホルダー装備

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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