シリコン酸化・熱処理炉

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー 光洋サーモシステム
型式 MT-2-6X20-A
用途

小片シリコン酸化、長時間アニール

仕様(特徴・詳細)

加熱方式:細線ヒーター加熱方式
プロセス温度: 300 – 1000度
酸化雰囲気: O2ドライ酸化、バブリングウエット酸化
アニール雰囲気: O2、N2
試料サイズ: 最大φ2インチ

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問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

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