急速赤外線アニール炉

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー アルバック理工
型式 QHC-P410
用途

合金化、急速アニール

仕様(特徴・詳細)

加熱方式: 放物面反射赤外線管状加熱方式
プロセス温度: 1150度以下
昇温速度: 40度/秒以下
均熱範囲: 80 mm
試料サイズ: 20 mm角以下×4

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問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

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