酸化膜ドライエッチング装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー 住友精密工業
型式 MUC-21 RV-APS-SE
用途

SiC,SiN,SiO2や各種酸化膜の高速エッチング

仕様(特徴・詳細)

プラズマ励起方式 誘導結合型

電源出力 ICP出力:最大3kW/バイアス出力:最大1kW

プロセスガス CHF3,C2F6,C4F8,SF6,Ar,O2,He

試料ステージ温度 -10~+40度

試料サイズ 最大φ6インチ

その他 SiO2エッチングレート:0.5um/min以上,終点検出機能装備

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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