多目的ドライエッチング装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー サムコ
型式 RIE-200NL
用途

多種材料のドライエッチング

仕様(特徴・詳細)

プラズマ励起方式 平行平板型

電源出力 最大300W

プロセスガス CHF3,CF4,SF6,Ar,O2,N2

試料ステージ温度 室温

試料サイズ 最大φ8インチ

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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