超高真空電子銃型蒸着装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー エイコーエンジニアリング
型式
用途

リフトオフ向けアルミ薄膜形成

仕様(特徴・詳細)

蒸着方式: 電子銃型×1式
ターゲット: 5連式(Ti、Au、Al×3)
到達真空度: 1.0 x 10-7 Pa
TS間距離: 500 mm
試料サイズ: 最大φ3インチ
その他: 試料ステージ傾斜/回転可能

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

施設画像
検索キーワード 超高真空 電子銃型 蒸着装置 リフトオフ アルミ薄膜