12連電子銃型蒸着装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー アールデック
型式 RDEB-1206K
用途

リフトオフ向け金属薄膜形成

仕様(特徴・詳細)

蒸着方式: 電子銃型×1式
ターゲット: 12連式(Ti、Cr、Ni、Co、Pt、Au×2、Pd、Ag、AuGeは固定)
到達真空度: 1.0 x 10-5 Pa
TS間距離: 500 mm
試料サイズ: 最大φ3インチ
その他: 水冷式試料ステージ

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
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備考

微細加工プラットフォーム

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