超高真空スパッタ装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー ビームトロン
型式
用途

垂直対向スパッタによる薄膜形成

仕様(特徴・詳細)

スパッタ方式 DC/RFマグネトロンスパッタ、反応性スパッタ可能
電源出力 DC:最大1 kW/RF:最大300 W
カソード φ2インチ×4式
プロセスガス Ar、O2
試料サイズ 最大φ3インチ
その他 試料ステージ加熱可 (最大800度)

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

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検索キーワード 超高真空 スパッタ マグネトロンスパッタ 反応性スパッタ