全自動スパッタ装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー アルバック
型式 J sputter
用途

金属・絶縁薄膜形成

仕様(特徴・詳細)

スパッタ方式 DC/RFマグネトロンスパッタ、反応性/2元同時/逆スパッタ可能
電源出力 最大500 W
カソード φ4インチ×4式
プロセスガス Ar、O2、N2
試料サイズ 最大φ6インチ
その他 試料ステージ水冷/加熱可 (最大300度)

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

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検索キーワード スパッタ マグネトロンスパッタ J sputter