エキシマクリーナー

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー マルチプライ
型式 EXC-1201
用途

基板精密クリーニング、表面改質

仕様(特徴・詳細)

光源: 172 nmエキシマ紫外線ランプ
照射距離: 3 – 35 mm
ステージ温度: 室温~200 度
処理時間設定: 任意
試料サイズ: 最大φ4インチ

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

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