プラズマアッシャー

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー ヤマト科学
型式 PB-600
用途

基板クリーニング、レジスト剥離

仕様(特徴・詳細)

プラズマモード ダイレクトプラズマ
高周波出力 0 – 600 W連続可変
反応ガス O2
処理時間設定 任意 (チャンバー温度150 度でインターロックあり)
試料サイズ 最大φ6インチ

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

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