マスクアライナー

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー ズース・マイクロテック
型式 MA6 BSA
用途

高スループットマイクロパターニング

仕様(特徴・詳細)

露光方式 バキューム,ハードコンタクト,ソフトコンタクト,プロキシミティ

光源 ブロードバンドUVランプ(350-450nm)

解像度 最小1umアライメント精度 表面 0.5um,裏面1um以下

試料サイズ 最大φ6インチ

その他 両面露光可能

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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