レーザー露光装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー ナノシステムソリューションズ
型式 DL-1000
用途

マスクレスマイクロパターニング

仕様(特徴・詳細)

光源 405nm半導体レーザー(h線)

照度 300mW/cm2

位置決め精度 ±1um以下

重ね合わせ精度 ±1um以下

試料サイズ 最大4

インチ角その他 自動/手動アライメント機能,汎用CAD/画像ファイル読込可

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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