ナノインプリント装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー 東芝機械
型式 ST50
用途

高速ナノパターニング

仕様(特徴・詳細)

インプリント方式 紫外線インプリント
光源 365 nm LED
照射範囲 φ3 インチ
プレス力 最大50 kN
試料サイズ 最大φ4 インチ
その他 ステップ&リピート機能有り

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

微細加工プラットフォーム

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