100kV電子ビーム描画装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー エリオニクス
型式 ELS-7000
用途

高精細ナノパターニング

仕様(特徴・詳細)

電子銃 ZrO/W熱電界放射型
最大加速電圧 100kV (25kVステップで可変)
フィールドつなぎ精度 40nm
重ね合わせ精度 40nm
試料サイズ 最大φ6インチ
その他 汎用CAD(dxfファイル)にも対応(CAD用パソコンの利用は無料)

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp

備考

微細加工プラットフォーム

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