X線イメージング装置(トポグラフィー)(BL-20B)

機関 高エネルギー加速器研究機構(KEK)
施設名 フォトンファクトリー(PF)
メーカー
型式 放射光実験ステーションBL-20B 他
用途

X線回折像による試料(表面)の構造評価、半導体材料の評価など

仕様(特徴・詳細)

X線エネルギー:7 – 25 keV
イメージングプレート

装置の詳細に関しましては次のリンク先をご参照ください。
http://pfwww.kek.jp/users_info/station_spec/bl20/bl20b.html

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

KEK TIA推進室
〒305-0801
つくば市大穂1-1
Tel: 029-879-6281 Fax: 029-864-4602
E-mail: tia@ml.post.kek.jp

備考

建設中

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