軟X線光学素子評価装置(BL-11D)

機関 高エネルギー加速器研究機構(KEK)
施設名 フォトンファクトリー(PF)
メーカー
型式 放射光実験ステーションBL-11D
用途

回折格子や多層膜の反射率などの精密特性評価

仕様(特徴・詳細)

放射光エネルギー:60 – 900 eV
E/ΔE = 2000

装置の詳細に関しましては次のリンク先をご参照ください。
BL-11D 軟X線光学素子評価装置用ステーション

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

KEK TIA推進室
〒305-0801
つくば市大穂1-1
Tel: 029-879-6281 Fax: 029-864-4602
E-mail: tia@ml.post.kek.jp

備考
施設画像
検索キーワード 真空紫外 軟X線 光学素子 鏡 回折格子 多層膜 薄膜 反射率