微小部蛍光X線分析装置(XRF)

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
型式 SEA5120A
用途

計測

仕様(特徴・詳細)

型式:SEA5120A
・分析元素:Na~U、Si(Li)半導体検出器(LN2冷却)、RhX線管励起、上部垂直照射
・コリメータ:φ0.1;1;2.5 mm、最大試料サイズ:80 x 80 x 35 (mm)、試料形態:固形;薄膜、雰囲気:大気;真空
・定性、バルク分析(FP法、検量線法)、薄膜分析(FP法、検量線法)、元素マッピング、レポート作成ソフト

微小部蛍光X線分析装置(XRF)

http://www.tsc-web.jp/map/pdf/XRF.pdf

日立ハイテクの蛍光X線分析装置回折ページ
http://www.hitachi-hitec-science.com/products/xrf/xrf_analysis.html

 

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問合せ先

国立研究開発法人産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進センター共用施設運営ユニット共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1
つくば中央第2事業所 2-12棟
TEL:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Email:tia-kyoyo-ml[@]aist.go.jp
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