走査プローブ顕微鏡2(SPM2)[SPM-9600・9700]

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー 島津製作所
型式 SPM-9600
用途

観察

仕様(特徴・詳細)

試料表面を微小な探針で走査し、表面の三次元形状をスピーディに観察する装置です。
分かり易いインターフェイスの採用やソフトウェアの自動化機能により、SPM初心者の方でも容易に測定が可能です。
・型式:SPM-9600
・試料最大形状:φ24 mm × 8 mm
・試料固定:マグネットによる固定
・スキャナ走査範囲:125 um × 125 um × 7 um
・分解能:水平 0.2 nm、垂直 0.01 nm
・測定モード:ダイナミック、コンタクト、位相、電流、表面電位(KFM)

島津製作所のSPM解説ページ
http://www.an.shimadzu.co.jp/surface/spm/spm/index.htm

島津製作所 SPM資料室
http://www.an.shimadzu.co.jp/surface/spm/sol/faq/faq1.htm

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問合せ先

国立研究開発法人産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進センター共用施設運営ユニット共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1
つくば中央第2事業所 2-12棟
TEL:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Email:tia-kyoyo-ml[@]aist.go.jp
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