高分解能電界放出電子顕微鏡(FE-SEM)

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー 日立ハイテク
型式 S-4800
用途

観察

仕様(特徴・詳細)

この装置は、細く絞った電子線で試料表面を2次元的に走査し、その際に出てくる2次電子信号から、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示します。
微細加工された部分の形状などを観察評価するために用います。
電子線を試料表面で細く収束し、非常に微細な構造を観察するために特殊な電子銃を用いています。
試料を傾けながら像を観察することにより、3次元的な形状を把握することもできます。
・型式:S-4800
・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV, WD = 4 mm)
・試料ステージ制御:5軸モーター制御
・可動範囲:X,Y:0~110 mm、Z:1.5~40 mm、R:360°、T:-5~70°
・試料サイズ:15~150 mmΦ
・検出器:2次電子検出器(2系統)、エネルギー分散型X線検出器

原理(ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会監修)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/SEM.pdf

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問合せ先

国立研究開発法人産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進センター共用施設運営ユニット共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1
つくば中央第2事業所 2-12棟
TEL:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Email:tia-kyoyo-ml[@]aist.go.jp
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