短波長レーザー顕微鏡

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー キーエンス
型式 VK-9700 Generation
用途

観察

仕様(特徴・詳細)

観察対象物に対して前処理が一切不要で、そのままの状態での観察・測定が可能です。
観察視野全てに焦点が合った超深度画像での観察が可能で、短波長レーザと白色光源を併用することで、高解像度と色情報を両立した高精細リアルカラー超深度画像での観察が可能です。
非接触なので様々な対象物に対応するうえ、観察視野全域の3次元データをレーザで取得し、高精度で多彩な3次元解析が可能です。
・型式:VK-9700 Generation
・倍率:最大18000倍
・分解能:1 nm(Z方向、高さ)
・高さ測定範囲:7 mm
・表示分解能:0.001 μm
・幅測定表示分解能:0.001 μm
・フレームピクセル数:2048×1536
・モノクロ映像:14 bit
・カラー映像:RGB各8 bit、高さ測定用:24 bit
・光学ズーム:1x~6x
・測定:レーザ光波長408 nm、最大出力0.9 mW、受光:光電子増倍管
・観測:100 Wハロゲン光源
・撮像素子:カラーCCDイメージセンサ

キーエンスの短波長レーザー顕微鏡解説ページ
http://www.keyence.co.jp/microscope/laser_scope/vk_x/menu/2903/

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問合せ先

国立研究開発法人産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進センター共用施設運営ユニット共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1
つくば中央第2事業所 2-12棟
TEL:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Email:tia-kyoyo-ml[@]aist.go.jp
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