レーザー顕微鏡

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー キーエンス
型式 VK-8500
用途

観察

仕様(特徴・詳細)

この装置は、試料にレーザー光を当て、高さの違いにより生じる反射光量の変化から立体形状を測定します。
CCDカメラで撮影した映像をテレビモニターで観察しながら測定します。
視野範囲内の任意に指定した二点を結ぶ直線上の断面形状を求めるプロファイル測定を始めとした形状解析が可能です。
また、専用の解析アプリケーションを使えば更に詳細な解析が可能です。
・製造元:キーエンス
・型式:VK-8500
・測定用レーザー光源:He-Neレーザー
・試料ステージストローク:70 mm(x,y)、28 mm(Z)
・高さ測定範囲:7 mm
・高さ方向最小測定分解能:0.01 μm
・高さ方向繰り返し測定精度:0.03 μm

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
ibec_info-ml@aist.go.jp

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