デバイス容量評価装置

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー Keithley
型式 Model 82-WIN
用途

計測

仕様(特徴・詳細)

この装置では、試料表面に電圧をかけたとき発生する電流を測定し、その値から、電気容量などの電気的特性を調べることができます。
・型式:Model 82-WIN
・測定周波数:100kHz、1MHz
・測定電圧:15mV rms
・最大レンジ:20nF、2nF
・最大レンジの読取確度:0.25%、0.29%
・最小レンジ:2pF、20pF
・最小レンジの読取確度:0.12%、0.29%

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
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備考
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検索キーワード 電気容量