UVクリーナー (リソグラフィ付帯装置)

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー サムコ
型式
用途

洗浄

仕様(特徴・詳細)

UV(紫外線)を用いたドライ洗浄装置。

・UVランプ:110W x 1 (peak wavelength 253.7 nm , 184.9 nm)
・試料ステージ温調機能:室温~300 ℃・オゾン発生器

サムコ社のUVクリーナー解説ページ
http://www.samco.co.jp/aboutus/primer/2011/03/post_4.php

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
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備考

付帯装置

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