プラズマアッシャー (リソグラフィ付帯装置)

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー ヤマト科学
型式 PR500
用途

アッシング

仕様(特徴・詳細)

この装置は、石英チャンバー内で酸素プラズマを発生させることにより、有機物のフォトレジストをCO2とH2Oに分解・酸化させて除去するものです。
・型式:PR500
・高周波電源:最大500 W
・反応槽:石英チャンバーΦ215 mm×305 mm(高さ)
・放電時間設定:0.1秒~999時間
・使用ガス:O2、パージ用N2ガス

ヤマト科学のプラズマアッシャー解説ページ
http://www.yamato-net.co.jp/product/science/plasma/reactor/pr500510.htm

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
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備考

付帯装置

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