集束イオンビーム加工観察装置(FIB)

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー 日立ハイテク
型式 FB-2100
用途

加工、観察

仕様(特徴・詳細)

この装置はガリウムイオンビームを集束・走査することで特定の微小領域を微細加工するものです。
2次電子像を観察しながら断面試料やTEM試料等を作製することが可能です。
タングステン膜の形成も可能であり、ガリウムイオンビームを走査して任意の場所にタングステン配線やタングステン保護膜を形成することができます。
そのほか任意形状の加工やビーム電流可変により試料に合わせた加工・観察が可能です。
・型式:FB-2100
・イオン源:ガリウム液体金属イオン源
・加速電圧:10 ~ 40 keV
・像分解能:6 nm
・ビーム径:1.3 μm, 600 nm, 300 nm, 160 nm, 80 nm, 40 nm, 10 nm

原理(ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会監修)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/FIB.pdf

日立ハイテクの集束イオンビーム加工観察装置解説ページ
http://www.hitachi-hitec.com/science/fib/fb2200.html

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産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
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