アルゴンミリング装置

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー 伯東
型式 3-IBE
用途

加工

仕様(特徴・詳細)

イオンガンで発生させたArイオンビームを試料に照射することで、エッチングを行います。
反応性イオンエッチング(RIE)装置などに比べ、雰囲気が一桁低い圧力(10-2 Pa台)でエッチングの処理が行えます。
・型式:3-IBE
・ビーム直径: Φ3 cm
・ビーム加速電圧:500, 300 V
・イオン電流密度:1 cm2 あたり1 mA(但し、入射角度0°の時)
・試料室の真空度: ~3 × 10-2 Pa
・パージガス: 窒素ガス

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
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