i線露光装置

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
メーカー ニコンテック
型式 NSR-2205i12D
用途

パターン露光

仕様(特徴・詳細)

この装置は、最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載し、解像度350 nm以下に対応したi線縮小投影型露光装置です。
照明光源とレチクルの間の照明システムの中にあるアパーチャはコンベンショナルタイプの他に、限界解像度と焦点深度をさらに向上させる変形照明(SHRINC、輪帯照明)も選択できます。
投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、実際のプロセス条件に応じて0.50 ~ 0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能です。
そのほか特殊ステージを備えておりΦ2インチウェハーおよび□20 mm、□15 mm、□10 mmの切り出しチップの露光が可能です。
・形式:NSR-2205i12D
・露光光源:i線(波長365 nm)
・解像度:350 nm以下
・最大N.A.:0.63
・縮小倍率:5分の1倍
・露光範囲:□22 mm(ウェハー上)
・レチクル:6インチ石英ガラス
・総合アライメント精度:55 nm以下

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
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