表面プローブ顕微鏡2と前処理装置

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 先端ナノ計測施設(ANCF)
メーカー SII、日立ハイテク他
型式
用途

原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡による表面観察

仕様(特徴・詳細)

SIIナノテクノロジ S-ImageおよびE-SWEEP
●設置室名: 2-1D棟124室
●測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM
●制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用
●測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20~70%)、液中、真空中(10E-5[Torr])
●温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ~ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
●試料サイズ: 最大15 mm角程度

前処理装置等
●標準試料: 探針評価、スケール、段差等
●研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト

原理(ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会監修)
原子間力顕微鏡(AFM)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/AFM.pdf

走査型トンネル顕微鏡(STM)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/STM.pdf

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail :ibec_info-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

導入年月日:2005年~2010年
(1)前処理設備を利用する場合は、事前に相談のこと。
(2)原則、本人が試料・消耗品を持参して測定し、持ち帰ること。
(3)消耗品は標準カンチレバー(OMCL-AC160、AC200、AC240のいずれか)を半日あたり2本まで利用可能。それ以上は自己負担(持参)とする。午前は3時間、午後は4時間とし、午後と翌朝の連続使用を予約した場合は、夜間に(同一計測条件での)連続計測が可能。
(4)必ず含有物質名を記録し、有害物質を含む材料は持ち込まないこと。

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