表面プローブ顕微鏡1

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 先端ナノ計測施設(ANCF)
メーカー JEOL
型式 JSPM5400
用途

原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡による表面観察

仕様(特徴・詳細)

原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
・型式: JEOL JSPM5400
・設置室名: 2-1D棟125室
・測定機能: AM-AFM、FM-AFM、コンタクトモード、STM、SKPM、EFM
・測定環境: 大気中、液中、真空中(10-5 [Torr])、超高真空(10-10 [Torr]、使用機能に制限あり)
・温度範囲: 室温~ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大10 mm角程度

原理(ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会監修)
原子間力顕微鏡(AFM)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/AFM.pdf

走査型トンネル顕微鏡(STM)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/STM.pdf

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail :ibec_info-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

導入年月日:2006年~2010年
(1)原則、本人が試料消耗品を持参して測定し、持ち帰ること。
(2)消耗品は標準カンチレバー(OMCL-AC160、AC200、AC240のいずれか)を半日あたり2本まで利用可能。それ以上は自己負担(持参)とする。午前は3時間、午後は4時間とし、午後と翌朝の連続使用を予約した場合は、夜間に(同一計測条件での)連続計測が可能。
(3)前処理設備を利用する場合は、事前に相談のこと。
(4)必ず含有物質名を記録し、有害物質を含む材料は持ち込まないこと。
(5)H22年3月に移転したため、装置の一部は、H22年後半より使用可能となるものがある。

施設画像
検索キーワード AFM SPM プローブ顕微鏡 原子間力顕微鏡 実形状 FM-AFM 周波数制御