ダイシング装置

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 先端ナノ計測施設(ANCF)
メーカー
型式
用途

切断、ダイシング

仕様(特徴・詳細)

目的:ウエハー切断
方式:極薄回転砥石
材料:シリコンウエハー
ウエハサイズ:6”φ以下(厚さ0.8mm以下)
典型的プロセス時間:約20分(3”φシリコンウエハー1枚)
特徴:ウエハーはステージ上に真空吸着で固定

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

・設置場所:2-7棟113室内。
・使用可能サンプル:表面に非磁性無機材料またはフォトレジストが成膜されたシリコン基板(ベアシリコン基板含む)。
・切断可能な基板サイズ:6φ以下。
・実際の利用に当たっては装置管理者の指示に従うこと。

施設画像
検索キーワード ウェハー切断 Si セミオート制御 6インチ