マニュアルプローバ

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 先端ナノ計測施設(ANCF)
メーカー
型式
用途

プローバ

仕様(特徴・詳細)

本装置は、ウェハステージに人手でウェハをセットし、マイクロポジショナー(ニードル)をマニュアルで測定箇所に合わせて測定するマニュアルプローバです。
試作途中又は試作後のウェハの2端子、4端子測定が可能です。
・型式:705B-A
・ウェハ保持:ウェハ裏面のバキュームチャック
・プロービング:マイクロポジショナー、ニードル数:4
・測定器:デジタルマルチメータ(Keithley 197)
・測定結果はデジタルマルチメータの表示のみ。
・測定可能なウェハサイズ:3インチ、4インチ、数mm角のチップでも可
・測定時間:プロービング数に依存

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

・設置場所:2-12棟1131クリーンルーム内。
・使用可能サンプル:裏面が清浄な3インチ、4インチウェハ、又は数mm角のチップでも可
・実際の利用に当たっては装置管理者の指示に従うこと。

施設画像
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