オートプローバ

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 先端ナノ計測施設(ANCF)
メーカー 株式会社プラムファイブ
型式 PCP-102SL
用途

プローバ

仕様(特徴・詳細)

本装置は、ウェハステージに人手でウェハをセットすることで、自動的にプロービング測定を行うセミオートプローバです。
試作途中又は試作後のウェハの2端子、4端子測定が可能です。
測定レンジの設定もプログラムで自動的に変更して測定します。

・型式:PCP-102SL
・ウェハ保持:ウェハ裏面のバキュームチャック
・アライメント:オート(画像認識)又はマニュアルでも可
・プロービング:マイクロポジショナー、ニードル数:4
・測定箇所は、全てプログラム内に座標指定する。
・座標データが記入されたExcelデータを読込むことも可
・測定結果はPCに自動取込み、Excelデータに変換可能
・測定器:デジタルマルチメータ(Agilent 34410A)又はエレクトロメータ(Advantest R8252)
・測定可能なウェハサイズ:3インチ、但し装置設定を変更すれば8インチまで対応可
・測定時間:プロービングサイト数によるが、例えば1ウェハ3000箇所程度の2端子測定は20分程度(100箇所以上/分)。

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

・設置場所:2-12棟1131クリーンルーム内。
・使用可能サンプル:裏面が清浄な3インチウェハ、但し、装置設定を変更すれば8インチまで対応可。
・実際の利用に当たっては装置管理者の指示に従うこと。

施設画像
検索キーワード 手動ウェハーセット プロービング測定 2端子測定 4端子測定 自動測定 エクセルデータ出力