コーターデベロッパー

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 超伝導アナログ・デジタルデバイス開発施設(CRAVITY)
メーカー
型式
用途

レジスト塗布

仕様(特徴・詳細)

本装置は、レシピを作成、登録することにより全自動でレジスト塗布、現像、ベークを行うことが出来ます。薬液は所定の温度、湿度に保たれており安定したレジスト塗布が可能です。

・レジスト:ネガ、ポジ
・ウエハサイズ:3inchウエハ
・レジスト膜厚:0.7~1.0 μm
・ベーク温度:110 ℃
・処理時間:約5分
・薬液温度:23 ℃
・薬液湿度:45%
・HMDS処理有り
・基板冷却機構:水冷
・ウエハエッジ部、裏面リンス機能有り

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

国立研究開発法人産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進センター共用施設運営ユニット共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1
つくば中央第2事業所 2-12棟
TEL:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Email:tia-kyoyo-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

・設置場所:2-12棟1131クリーンルーム内。
・使用可能サンプル:ウエハ裏面に異物等がなきこと。
・実際の利用に当たっては装置管理者の指示に従うこと。

施設画像
検索キーワード レジスト塗布 3種類のレジスト 全自動 スピンコート 現像