超伝導蛍光収量X線吸収微細構造分析装置(SC-XAFS)

機関 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 先端ナノ計測施設(ANCF)
メーカー 独自開発
型式
用途

X線吸収微細構造法(XAFS)、X線吸収分光法(XAS)

仕様(特徴・詳細)

産総研自主開発:エネルギー分散超伝導検出器を搭載し、母材中の微量軽元素や重い元素のL、M線のX線吸収微細構造測定により、特定の微量元素の原子スケール構造解析を行う。
米ALSに同様の装置があるのみ。
省エネ半導体ドーパント、酸化物、磁性体などの原子配位や電子状態を評価。

・蛍光X線エネルギー分解能: 10 eV
・エネルギー範囲:100 eV – 15 keV (1 keV以下は超伝導、以上は半導体)
・光子計数率: 1 Mcps
・液体ヘリウムを使用せず自動冷却(0.3 K)

原理(ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会監修)
X線吸収微細構造法(XAFS)
http://www.tsc-web.jp/map/pdf/XAFS.pdf

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問合せ先

産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進本部
共用施設調整室
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第2事業所
つくば本部・情報技術共同研究棟9階
TEL: 029-862-6592
FAX: 029-862-6048
E-mail: ibec_info-ml[@]aist.go.jp
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備考
施設画像
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