電界放出型走査電子顕微鏡

機関 筑波大学
施設名 微細加工プラットフォーム
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
型式 Su8020
用途

電界放出型電子銃とインレンズ検出器により超低電圧でnmオーダーの高解像度を実現する走査型電子顕微鏡。

ナノ構造・材料の観察、測長も可能。

仕様(特徴・詳細)

二次電子分解能:1.0nm (加速電圧15kV,WD=4mm) 、1.3nm (照射電圧1kV,WD=1.5mm)
照射電圧:0.1~30kV
低倍率モード:20~2,000倍 (写真倍率)
高倍率モード:100~800,000倍 (写真倍率)

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

筑波大学微細加工プラットフォーム事務局
e-mai: staff[@]u-tsukuba-nanotech.jp
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