微細加工装置群:H12の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
筑波大学 微細加工プラットフォーム デバイスシミュレータ― 半導体プロセスのシミュレーション、ならびにデバイスの電気特性、光学特性、温度特性をシミュレートします。シルバコ社製 ATHENAおよびATLAS(フルパッケージ)(1)2次元プロ...

半導体素子の製造プロセス、およびデバイス動作のシミュレーション