微細加工装置群:F10の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) アルゴンミリング装置 イオンガンで発生させたArイオンビームを試料に照射することで、エッチングを行います。反応性イオンエッチング(RIE)装置などに比べ、雰囲気が一桁低い圧力(10-2 Pa台)でエッチ...

加工