微細加工装置群:E6の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) マスクアライメント露光装置 ・型式 : K-310P100S・露光源 : ウシオ電機マルチライト 超高圧水銀ランプ・主波長 : 365 nm(i線)・照度 : 約32 mW/cm2・露光モード : コンタクト方式・ウェハサイズ : 小片基板...

パターン露光

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) マスクアライナー 露光方式 バキューム,ハードコンタクト,ソフトコンタクト,プロキシミティ光源 ブロードバンドUVランプ(350-450nm)解像度 最小1umアライメント精度 表面 0.5um,裏面1um以下...

高スループットマイクロパターニング