微細加工装置群:D6の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) i線露光装置 この装置は、最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載し、解像度350 nm以下に対応したi線縮小投影型露光装置です。照明光源とレチクルの間の照明システムの中にあるアパーチャは...

パターン露光

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) ナノインプリント装置 インプリント方式 紫外線インプリント光源 365 nm LED照射範囲 φ3 インチプレス力 最大50 kN試料サイズ 最大φ4 インチその他 ステップ&リピート機能有り

高速ナノパターニング

産業技術総合研究所(AIST) 超伝導アナログ・デジタルデバイス開発施設(CRAVITY) i線ステッパ 本装置は、レチクル上に描画されたパターンを超高圧水銀灯で照明し、縮小投影レンズを通してウェハ上に結像させ、焼き付けます。また、ウェハステージをステップ・アンド・リピ...

i線を用いたパターン露光