微細加工装置群:C1の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) 超伝導アナログ・デジタルデバイス開発施設(CRAVITY) コーターデベロッパー 本装置は、レシピを作成、登録することにより全自動でレジスト塗布、現像、ベークを行うことが出来ます。薬液は所定の温度、湿度に保たれており安定したレジスト塗布が可能です...

レジスト塗布