計測用装置群の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) エックス線光電子分光分析(XPS)装置 エックス線光電子分光分析(XPS)装置・X線源 Rowland 円直径 500 mm モノクロメータ付Al Kα (1486.6 eV)・光電子分光器 軌道半径165 mm静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナラ...

エックス線光電子分光分析(XPS)

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR) 赤外分光法を利用し、試料の定性・定量解析を行うフーリエ変換装置です。レーザーラマン同様、コンフォーカル機能を搭載した光学顕微鏡システムとの組み合わせにより、高分解能...

計測

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) サンプルにレーザーを照射し、得られるラマン効果を利用して、試料の分子構造や未知物質の同定を非破壊で行う装置です。コンフォーカル機能を搭載した光学顕微鏡システムとの組...

計測

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) 試料にイオンを照射し、試料表面からスパッタリング放出される二次イオンを質量分析することによって深さ方向の元素分布情報を得る分析手法です。固体表面の検出感度が高く、1H...

計測

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 微小部蛍光X線分析装置(XRF) 型式:SEA5120A・分析元素:Na~U、Si(Li)半導体検出器(LN2冷却)、RhX線管励起、上部垂直照射・コリメータ:φ0.1;1;2.5 mm、最大試料サイズ:80 x 80 x 35 (mm)、試料形態:固形;薄...

計測

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) X線回折装置(XRD) 試料形状やそれぞれの測定目的に応じて適切な光学系を容易に切り替え構築出来る高精度の粉末X線回折装置です。集中法、平行ビーム法切替入射光学系“クロスビームオプティクス”を...

構造解析

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 触針式段差計 (成膜プロセス付帯装置) 先端がダイヤモンドのスタイラス(触針)を用いて、測定物表面を一定の低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、うねり等の測定を行う装置です。主に膜厚測定、表面形状の評価に用います...

計測

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) ナノサーチ顕微鏡(SPM3)[SFT-3500] この装置は、光学顕微鏡と、レーザ顕微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)、走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)の3機能が1台の顕微鏡に搭載された複合型顕...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 高分解能電界放出電子顕微鏡(FE-SEM) この装置は、細く絞った電子線で試料表面を2次元的に走査し、その際に出てくる2次電子信号から、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示します。微細加工された部分の形状な...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 低真空走査電子顕微鏡 低真空モードにおいて、熱電子線源から生じた電子線を試料に照射し、試料表面から反射した電子線を画像データとして読み込み、表面形状を観察します。このモードでの真空度は1 ...

観察

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