計測用装置群:G9の装置一覧

機関名 施設名 装置名称/手法 仕様 用途
産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 大型試料対応走査プローブ顕微鏡(SPM1) この装置では、原子間力顕微鏡(AFM)、磁気力顕微鏡(MFM)測定が可能です。AFMは、基板表面をプローブ探針で走査することにより、表面にある凹凸の変位をピエゾ素子で表面形状の変...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 走査プローブ顕微鏡2(SPM2)[SPM-9600・9700] 試料表面を微小な探針で走査し、表面の三次元形状をスピーディに観察する装置です。分かり易いインターフェイスの採用やソフトウェアの自動化機能により、SPM初心者の方でも容易...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) ナノサーチ顕微鏡(SPM3)[SFT-3500] この装置は、光学顕微鏡と、レーザ顕微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)、走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)の3機能が1台の顕微鏡に搭載された複合型顕...

観察

産業技術総合研究所(AIST) ナノプロセシング施設(NPF) 触針式段差計 (成膜プロセス付帯装置) 先端がダイヤモンドのスタイラス(触針)を用いて、測定物表面を一定の低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、うねり等の測定を行う装置です。主に膜厚測定、表面形状の評価に用います...

計測

産業技術総合研究所(AIST) 先端ナノ計測施設(ANCF) 表面プローブ顕微鏡1 原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡・型式: JEOL JSPM5400・設置室名: 2-1D棟125室・測定機能: AM-AFM、FM-AFM、コンタクトモード、STM、SKPM、EFM・測定環境: 大気中、液中...

原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡による表面観察

産業技術総合研究所(AIST) 先端ナノ計測施設(ANCF) 表面プローブ顕微鏡2と前処理装置 SIIナノテクノロジ S-ImageおよびE-SWEEP●設置室名: 2-1D棟124室●測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM●制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWE...

原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡による表面観察

筑波大学 微細加工プラットフォーム 走査型プローブ顕微鏡  

走査型プローブを用いた原子レベルでの試料表面の観察・評価

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) 原子間力顕微鏡 測定モード AFM,DFM,FFM,PM,SIS走査範囲 90umステージ移動範囲 X:±75mm/Y:+105mm分解能 垂直:0.01nm試料サイズ 最大φ6インチその他 カンチレバー自動交換機能,レシピ登...

ナノ加工・構造・材料の観察・計測

物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) 触針式表面段差計 分解能 1.19pm (±10umレンジ)/23.8pm (400umレンジ)走査距離 10mm膜厚測定範囲 最大400um測定再現性 0.8nm以下 (1σ)試料サイズ 最大φ6インチ

接触式段差測定

物質・材料研究機構(NIMS) 微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡(VLT-STM) 導電性単結晶表面の原子分解能観察およびトンネル分光測定が可能。原子分解能STM(温度0.4K~20K、 磁場0T~16T)、試料準備(アルゴンイオンスパッタ銃、ヒーター(~1200℃)、電子...

導電性単結晶表面の原子分解能観察およびトンネル分光測定が可能。原子分解能STM(温度0.4K~20K、 磁場0T~16T)、試料準備(アルゴンイオンスパッタ銃、ヒーター(~1200℃)、電子ビーム蒸着装置)